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超纯水设备净化的水质对面板的影响

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超纯水设备净化的水质对面板的影响

发布日期:2021-11-15 作者: 点击:

  一、 水中微粒水中的微粒,对液晶面板出产有着很大的危害,当微粒与硅片接触时,因为分子间互效果力、电子吸引力以及毛细管力的效果,很易粘附在硅片外表,很难铲除尤其是水分蒸发后,残留在硅片外表的微粒更难去除,边而对电路形成损坏效果、 粒径较大的微粒,将使电路产生较大的缺点,而微粒的多少,将影响产生缺点的数量(缺点密度)。

  二、 有机物(TOC)因为在超纯水中TOC的污染能在硅片外表分化,在硅片上构成雾状物,这些有机污染可使硅片添加部分氧化速度,能生长几十种的无定型氧化硅,使氧化层不均勺,所以需求严格操控超纯水的T0C。

  三、 溶解氧(DO)溶解氧是硅片在清洗过程中生长天然氧化膜的灵敏要素,又是微生物赖以生存的重要条件,硅片在清洗过程中,如水中有溶解氧存在,也很易在硅片外表生成天然氧化膜,然后影响电路的功用和成品率。因为水中的溶解氧高,能在硅片外表构成一层无定型氧化硅,响器材的功用和成品率。

  四、硅(SiO2)水中的硅一般以总硅表明,包括可溶性硅和非可溶性硅?扇苄怨枰匀芙馇榭龃嬖谟谒校曜家话阍1mm-1um范围内。它如在硅片外表上沉,将影响热痒化层的质量,产生外表缺点,乃至形成废品。超纯水中硅对大规模集成电路的资料、器材功用和成品率有很大的影响。它会下降热生长的氧化物的可靠性,形成磷硅雾,等离子刻蚀,也会构成颗粒污染,而影响图形缺点,会下降电子管及固体电路的质量。

  五、硼(Boron)在半导体出产工艺中,硼过量会使n型硅反型,对电子、空穴浓度有影响。因此在纯水行业中,要充分考虑硼的脱除和所用树脂中硼的分出,目前硼含量能够操控在0.01ug/L左右。

  六、温度超纯水的温度是光刻技术中折射率的重要参数之一,它将影响行清晰度和集合的深度。超纯水的溫度操控25℃士1℃ 。总而言之,超纯水的水质严重影响着液晶面板的出产,如颗粒将在制程产生图像差错、介电质上剩余的有机合成物将使记忆体连续时刻失效、接面上的细菌会导致接面漏电流、碱金属易形成介电质溃散强度的下降和重金属会缩短少数载子寿数然后影响元件的效率等。

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